微波等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)組成介紹

微波等離子清洗機(jī)總體結(jié)構(gòu)分為五個(gè)部分：設(shè)備主體、真空系統(tǒng)、微波放電系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和供氣系統(tǒng)。其清洗過(guò)程是：在真空腔內(nèi)壓力到達(dá)一定范圍時(shí)充入工藝氣體,當(dāng)腔內(nèi)壓力為動(dòng)態(tài)平衡時(shí)，利用微波源振蕩產(chǎn)生的高頻交變電磁場(chǎng)將氧、氬、氫等工藝氣體電離，生成等離子體，活性等離子體對(duì)被清洗物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過(guò)抽真空排出，而達(dá)到清洗目的。