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等離子清洗機(jī)主要技術(shù)參數(shù)分析

文章出處:等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間:2022-06-02
等離子清洗技術(shù)是利用等離子體高能轟擊、活化反應(yīng)等物理化學(xué)方法,將污染物從工件上剝離去除的一種工藝方法。根據(jù)等離子清洗的原理及工藝特點(diǎn),分析知等離子清洗機(jī)主要清洗關(guān)鍵工藝參數(shù)包括清洗氣體種類(lèi)、清洗壓力、射頻功率、清洗時(shí)間等。

等離子清洗機(jī)主要技術(shù)參數(shù)分析如下:


1)工藝氣體選擇及清洗機(jī)理
清洗氣體的選擇是等離子清洗最關(guān)鍵的因素,工藝氣體選擇和清洗機(jī)理主要分以下幾種:

氬氣和氮?dú)猓簹鍤馀c氮?dú)舛紝儆诓换顫姎怏w,利用高速粒子沖擊進(jìn)行物理清洗。通過(guò)物理撞擊破壞基板分子鍵,提高表面微粗糙度。

氧氣和氫氣:氧氣化學(xué)性質(zhì)比較活潑,具有較強(qiáng)的氧化性,氧氣等離子清洗主要是通過(guò)與污染物發(fā)生氧化反應(yīng)來(lái)清洗物質(zhì)表面,實(shí)現(xiàn)表面狀態(tài)改性。氫氣化學(xué)性質(zhì)活潑,具有很強(qiáng)的還原性,在清洗過(guò)程中可以將氧化物還原實(shí)現(xiàn)清洗作用。

混合氣體:將不活潑氣體與活潑氣體進(jìn)行組合,可以同時(shí)利用物理過(guò)程和化學(xué)反應(yīng)實(shí)現(xiàn)多重清洗效果。比如清洗采用氬氣與氫氣混合氣體,首先通過(guò)氬氣沖擊使物體表面結(jié)構(gòu)活化,再通過(guò)氫氣的還原作用清洗,可以增加粗糙程度,增強(qiáng)結(jié)合強(qiáng)度。還原性、氧化性、物理清洗三種清洗原理示意圖如圖1所示。
等離子清洗機(jī)清洗原理
氫氣、氧氣、氬氣三種氣體等離子清洗三種原理

(2)清洗壓力
清洗壓力描述的是等離子清洗機(jī)密閉腔體內(nèi)的壓強(qiáng),氣體物質(zhì)在真空狀態(tài)下外加高頻電場(chǎng),會(huì)出現(xiàn)輝光放電現(xiàn)象,成為等離子體,當(dāng)?shù)入x子體將被清洗基板包圍便開(kāi)始清洗,真空環(huán)境有助于反應(yīng)進(jìn)行,利用清洗過(guò)程,一般控制真空狀態(tài)壓強(qiáng)10Pa左右,清洗壓強(qiáng)不超過(guò)100Pa。

(3)射頻功率及清洗時(shí)間
清洗射頻功率與清洗時(shí)間都是等離子清洗十分重要的工藝參數(shù),一般對(duì)于同一基板來(lái)說(shuō),在保證能夠激發(fā)的前提下,一定范圍內(nèi)射頻功率與清洗時(shí)間成反比例關(guān)系,射頻功率越大,清洗時(shí)間越短;射頻功率越小,清洗時(shí)間越長(zhǎng)。

以上就是國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)廠家納恩科技關(guān)于等離子清洗機(jī)主要技術(shù)參數(shù)分析的簡(jiǎn)單介紹,不同的工藝參數(shù)設(shè)置直接影響等離子體清洗效果,因此針對(duì)不同的清洗對(duì)象和制程要求應(yīng)該設(shè)置適當(dāng)?shù)墓に噮?shù)以便進(jìn)行清洗??梢岳谜辉囼?yàn)法對(duì)等離子清洗機(jī)工藝參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,得出最佳的等離子清洗工藝參數(shù)。

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