等離子清洗機(jī)不銹鋼腔體和石英腔體的區(qū)別及優(yōu)缺點(diǎn)介紹
文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2023-08-31
本文主要是關(guān)于等離子清洗機(jī)不銹鋼腔體和石英腔體的優(yōu)缺點(diǎn)的介紹，首先給大家講解一下石英玻璃腔體等離子清洗機(jī)和不銹鋼腔體等離子清洗機(jī)的區(qū)別
從等離子發(fā)生原理上來(lái)了解不銹鋼腔體等離子清洗機(jī)和石英腔體等離子清洗機(jī)的區(qū)別和優(yōu)勢(shì)對(duì)比
市面上的不銹鋼腔體等離子清洗機(jī)，大都采用電容耦合等離子體產(chǎn)生方式也就是平行平板式（CCP），這種設(shè)備的特點(diǎn)是，腔體內(nèi)部有一塊金屬電極板用來(lái)放電產(chǎn)生等離子體。接入電源后，在射頻場(chǎng)的作用下，氣體中游離的電子會(huì)得到加速，與其他氣體分子發(fā)生碰撞，電離出新的電子，當(dāng)施加的電場(chǎng)足夠強(qiáng)時(shí)，極板間的氣體被擊穿，進(jìn)而形成穩(wěn)定的放電，即產(chǎn)生等離子體。
優(yōu)勢(shì)：利用容性耦合放電的可以產(chǎn)生較大面積均勻的等離子體，且均勻性較為穩(wěn)定
而石英玻璃腔體等離子清洗機(jī)是采用電感耦合等離子體產(chǎn)生方式（ICP），這種設(shè)備的特點(diǎn)是腔體內(nèi)部無(wú)電極，靠給腔體外的線圈施加射頻功率，空間中就會(huì)感應(yīng)出軸向的時(shí)變磁場(chǎng)，磁場(chǎng)的變化又會(huì)進(jìn)一步感應(yīng)出環(huán)向的電流，電子在電場(chǎng)作用下形成射頻電流，從而維持等離子體放電。
優(yōu)勢(shì)：ICP的主要優(yōu)點(diǎn)為等離子體密度高、解離率高,能夠在相當(dāng)大的壓力范圍上保持高密度等離子體。
從材質(zhì)上來(lái)比較不銹鋼腔體和石英腔體的優(yōu)缺點(diǎn)
對(duì)于石英玻璃腔體而言，是比較適用于高?？蒲械男⌒颓惑w實(shí)驗(yàn)，這種材質(zhì)的腔體優(yōu)點(diǎn)在于石英玻璃腔體相較于別的金屬材質(zhì)的腔體潔凈度更好，也方便清潔。
石英材質(zhì)是非常潔凈的一種腔體，因?yàn)槭羌兊膯尉w，該類型的腔體幾乎不會(huì)產(chǎn)生任何雜質(zhì)，非常適用于晶圓等潔凈要求度高的樣品。但是因?yàn)槭⑶惑w是比較脆的，想做成大腔體是不太好實(shí)現(xiàn)的。
不銹鋼腔體它具有優(yōu)異的抗熱裂性能，又具有很強(qiáng)的抗腐蝕性能，在高溫腐蝕環(huán)境中不產(chǎn)生污染物，又有良好的可焊性，是制造等離子處理設(shè)備真空室的良好材料。因?yàn)槭墙饘俨馁|(zhì)，更適合大的樣品做處理，大型的生產(chǎn)型工藝基本都是選擇不銹鋼腔體或者鋁腔體。鋁制腔體相對(duì)來(lái)說更受歡迎，不僅因?yàn)槠涑杀韭缘?，而且可以根?jù)用戶的產(chǎn)量定制較為大型的容量腔體。
該如何選擇不銹鋼腔體和石英玻璃腔體等離子清洗機(jī)
石英玻璃反應(yīng)倉(cāng)的選擇，取決于等離子清洗的應(yīng)用及樣品材質(zhì)，很多客戶采用的是不銹鋼反應(yīng)腔體來(lái)處理材料，他們對(duì)于清洗樣品表面沒有任何問題，如果客戶在等離子體處理時(shí)，需要潔凈的環(huán)境，或者清洗光學(xué)元件的時(shí)候，建議采用石英玻璃反應(yīng)腔體，主要擔(dān)心的是不銹鋼腔體中的微量元素，可能會(huì)成為在等離子處理時(shí)，樣品表面的污染源，特別是光學(xué)表面，這些污染物極大的改變了，樣品的光學(xué)性質(zhì)，同理我們推薦使用石英玻璃反應(yīng)倉(cāng)，如果使用氟化氣體如四氟化碳（CF4），該處理氣體會(huì)與二氧化硅發(fā)生刻蝕反應(yīng)，石英玻璃腔體可能會(huì)被更快刻蝕掉。因此如果使用腐蝕性氣體的話推薦使用不銹鋼腔體。
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