变态另类zoz0另类,国产自拍区,欧美图片一区,亚洲乱码手机在线

電感耦合式等離子體產(chǎn)生法（ICP)


電感耦合式等離子體(Inductively．couplede．Plasma，ICP)的工作原理，就是在線圈上加上一個高頻電源，當線圈上的電流改變時，就可有安培定律知道，當感應(yīng)產(chǎn)生一變動磁場，同時可由法拉第定律知道此變動之磁場會感應(yīng)出一個反應(yīng)方向的電場，此電場會加速等離子體中的電子而形成一線圈電流相反的二次電流。并且隨著與加于線圈上的電流不斷改變，而感應(yīng)出的電場也不斷改變，這不斷改變電場與平板式高調(diào)波等離子體一樣能用來加速電子以維持等離子體，所不同的是電場與電極方向不同。在平板式高調(diào)波等離子體中電子因受電場影響而運動方向垂直于電極，所以會有許多電子逃離等離子體跑到電極上，使能量消耗在加熱電極上。而在感應(yīng)偶合式等離子中，電子受感應(yīng)電場的影響而使運動方向與電極平行，因此不會有太多的電子損耗在電極上，故可以維持線圈周圍相當高的電子密度。

圖1是電感耦合式射頻等離子體的幾種典型裝置型式。其中(a)是典型的外電極結(jié)構(gòu)，是應(yīng)用最早的電感耦合式結(jié)構(gòu)，其特點是結(jié)構(gòu)簡單、無電極污染，但由于二次耦合，其耦合效率較低，且等離子均勻性較差；(b)是平面耦合線圈，可產(chǎn)生大面積的等離子體；(c)是內(nèi)電極式結(jié)構(gòu)，由于電感線圈位于等離子中，線圈耦合好，效率高，但電極浸沒于等離子體中，在電場作用下受到粒子轟擊，線圈尺寸會發(fā)生變化，同時容易發(fā)生電極濺射，對清洗或刻蝕的材料發(fā)生污染，因此這種結(jié)構(gòu)使用時需要在電感線圈表面包裹介質(zhì)層。
電感耦合式等離子體產(chǎn)生裝置類型
(a) 線圈環(huán)繞型 ; (b) 平板同心螺旋線圈 ; (c) 內(nèi)電極
電感耦合式等離子體產(chǎn)生裝置類型 

ICP的主要優(yōu)點為：
(1)等離子體密度高、解離率高，能夠在相當大的壓力范圍上保持高密度等離子體。
(2)平板式ICP可大面積操作。
(3)ICP等離子體中的電子溫度低、離子動能低、等離子體電位低。
(4)等離子體密度及離子轉(zhuǎn)擊基板的動能可分開控制。
(5)設(shè)備簡單。

電感耦合式等離子體是利用電感線圈的電磁感應(yīng)效應(yīng)，在線圈內(nèi)部感應(yīng)磁場，帶電粒子在磁場作用下做回旋運動，在離子移動過程中與氣體分子發(fā)生碰撞并電離，從而形成穩(wěn)定的等離子體。
 
Copyright © 國產(chǎn)等離子清洗機廠家 深圳納恩科技有限公司 版權(quán)所有 網(wǎng)站地圖 粵ICP備2022035280號
TOP
中国电影网| 久久精品中文字幕一区二区三区| 尤物视频在线播放| 五月婷婷久| 干干人人| 夜夜久网| 欧美亚洲视频大片一区二区98| 99久久精品国产一区二区蜜芽| 日韩欧美日韩| av777| 国产综合一区二区| 欧美精品一区二区精品久久免费| 国内精品久久久久久99蜜桃 | 人妻久久久久久| 黑人巨大爆粗亚裔女人| 国产免费无码av片在线观看不卡| 亚洲欧美精品综合欧美一区| 草草久一区二区三区| 超碰爆乳| 欧美在线观看视频| 晚上视频你懂得| 亚洲青青| 一区二区三区日韩欧美深夜久久久| 精品少妇AY一区二区三区| 九寨沟县| 激情无码专区| 日韩精品――色哟哟| 亚洲欧洲在线免费| 色五月婷婷精品| 欧差日韩亚州一区二区三区| 青青草免费国产免费久久久| 色综合视频| 亚洲日本99| 国产性爱精品| 亚洲涩图集中av无码| 色婷综合| 午夜网址| 人操人人爆乳| 久久国产re| 亚洲av在线| 久久99国产精品免费|