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今后雙面COF撓性基板的孔徑會達(dá)到50μm甚至更小,孔的厚徑比就會很大,溶液很難進(jìn)入孔內(nèi),這種情況下可以優(yōu)先考慮使用等離子清洗。等離子清洗工序簡單、綠色環(huán)保、效率高、能深入微細(xì)孔眼和凹陷內(nèi)部、真空度容易實(shí)現(xiàn)、應(yīng)用范圍廣、可以改善材料表面性能。