透射電鏡樣品等離子清洗機(jī)

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2023-04-10

透射電鏡作為當(dāng)今物理及材料科學(xué)重要的表征及分析手段，可在納米級分辨率下獲取材料的形貌結(jié)構(gòu)以及元素分布等信息。

透射電鏡對樣品質(zhì)量要求極為苛刻，最基本的便是厚度要在100nm及以下以使高能電子束穿透樣品，因此透射電鏡樣品的制備在整個(gè)實(shí)驗(yàn)中也起著決定性的作用。為保證樣品的清潔度，在放入透射電鏡前還需要進(jìn)行等離子清洗。

等離子清洗機(jī)

等離子體指氣體放電產(chǎn)生的電子、離子、自由基、激發(fā)態(tài)離子等具有較高活性的物質(zhì)，其整體為電中性。根據(jù)熱力平衡狀態(tài)，等離子體可被分為平衡態(tài)與非平衡態(tài)。在等離子體體系內(nèi)，離子溫度與電子溫度幾乎相等時(shí)，該體系溫度可達(dá)上萬度，處于熱力平衡狀態(tài)，因此，此時(shí)的等離子體被稱為平衡態(tài)等離子體或高溫等離子體；而對于非平衡態(tài)等離子體，其體系內(nèi)離子溫度遠(yuǎn)小于電子溫度（104K），僅為300K～500K，體系宏觀溫度低，因此又被稱為低溫等離子體（Non-thermalPlasma，NTP）。由于NTP溫度較低，便于在常溫下與其他物質(zhì)反應(yīng)，從而使得NTP在清洗污染物、材料改性等方面得到了廣泛的應(yīng)用。

等離子清洗機(jī)是低溫等離子體技術(shù)的一種應(yīng)用，該技術(shù)為干式清洗設(shè)備，可對金屬、塑料、玻璃等材料進(jìn)行除油、清洗、活化等處理，具有工藝流程短，費(fèi)用低等特點(diǎn)，并且具有不產(chǎn)生對環(huán)境有害物質(zhì)的優(yōu)點(diǎn)。同時(shí)由于等離子清洗中兼具物理作用與化學(xué)作用兩方面的清洗效果，使得等離子清洗在污染物去除具有更廣泛地適用性。對氧氣參與的等離子清洗，其化學(xué)反應(yīng)主要是有機(jī)物與氧自由基發(fā)生反應(yīng)生成較小的氣體分子被泵抽走。

透射電鏡對樣品的清潔度也有著極高要求，尤其是在STEM模式下，清潔度差的樣品容易積碳，從而無法觀察樣品并同時(shí)對電鏡造成污染。因此制備好的透射電鏡樣品在送入透射電鏡之前，還需要進(jìn)一步的清潔，也就是等離子清洗。等離子清洗機(jī)主要用于清洗透射電鏡樣品表面的碳?xì)浠衔?，不改變樣品本身的化學(xué)組成和結(jié)構(gòu)特征，也不損傷樣品表面，可以防止表面積碳的產(chǎn)生。

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