透明導(dǎo)電玻璃(Transparent Conducting Oxide):作為氧化物半導(dǎo)體薄膜的基底,具有良好的透光性和導(dǎo)電性,同時還負(fù)責(zé)將電子傳輸?shù)酵怆娐贰T谖覀儌鹘y(tǒng)得光伏器件里,導(dǎo)電玻璃一般分為兩種:FTO(摻氟氧化錫,F(xiàn)luorinedoped Tin Oxide)和ITO(摻銦氧化錫,Indiumdoped Tin Oxide)。FTO導(dǎo)電玻璃是在透明的玻璃上制備一層摻氟的SnO2薄膜,在玻璃和SnO2之間有一層幾納米厚的SiO2薄膜。ITO是在透明的玻璃上制備一層氧化銦錫。相較ITO導(dǎo)電玻璃,F(xiàn)TO導(dǎo)電玻璃的透光率較差,但在燒結(jié)過程中FTO的電阻值更穩(wěn)定。