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真空等離子清洗機(jī)

80L真空等離子清洗機(jī)NE-PE80F

  • 產(chǎn)品型號(hào)：NE-PE80F
  • 性能特點(diǎn)：所有元器件及核心部件采用進(jìn)口配置
  • 產(chǎn)品用途：材料表面清洗活化刻蝕去膠
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  • 產(chǎn)品參數(shù)
工業(yè)真空等離子清洗機(jī)由真空室、真空泵組、電源、供氣裝置及控制部分(包括真空控制、電源控制、溫度控制、氣體流量控制等)組成。等離子清洗機(jī)的清洗原理是射頻電源在一定的壓力情況下，起輝發(fā)射高能量的無(wú)序等離子體，這些等離子體中有大量激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，他們撞擊到被清洗基體表面，破環(huán)了材料表面原有的化學(xué)鍵，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，這樣不僅可以清除物品表面的污物和雜質(zhì)，還可以提高表面活性。
等離子清洗機(jī)應(yīng)用


工業(yè)真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：


♦所有元器件及核心部件采用進(jìn)口配置，保證了整機(jī)的穩(wěn)定性和使用壽命。
♦真空泵采用進(jìn)口旋片泵，是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長(zhǎng)時(shí)間工作的體系，在抗氧化、耐腐等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)，使泵的壽命大大提高，并有效降低了泵 的維護(hù)成本，泵的各項(xiàng)保護(hù)措施完善，提高了長(zhǎng)時(shí)間工作極限，泵油為耐高溫、抗氧化油，泵具有可自行緩解溫度過(guò)高的 散熱體系，無(wú)需水冷。泵體內(nèi)置于機(jī)柜內(nèi)部，使機(jī)器緊湊，占地面積小。
♦控制方式:自動(dòng)控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制，所有工藝參數(shù)、工藝過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)控，并顯示運(yùn)行狀態(tài)、報(bào)警記錄和工藝 曲線記錄、工作時(shí)間記錄，適合維護(hù)，可以提供工藝參考。
♦電源功率、潔凈壓力、射頻功率、清洗時(shí)間、氣體流量、凈化真空度等參數(shù)可設(shè)置。 
♦可存儲(chǔ)100組工藝配方，隨意調(diào)用。 工藝參數(shù)受密碼保護(hù)，分級(jí)密碼管理查詢。
♦電極采用高通量等離子結(jié)構(gòu)，牢固可靠易拆卸。
♦反應(yīng)倉(cāng)為矩形不銹鋼腔體，水平電極板放置，間距可調(diào)。
♦真空泵采用雙腔式旋片泵，及限真空度可達(dá)2Pa以下，一般采用外置。
♦一鍵完成全自動(dòng)工藝，實(shí)時(shí)故障報(bào)警、非法操作提示、清洗結(jié)束提示等。
♦自動(dòng)提醒系統(tǒng)堆護(hù)、更換真空泵油等，避免機(jī)器過(guò)載、過(guò)老化情形下工作，延長(zhǎng)使用壽命。
♦氣體質(zhì)量流量計(jì)用的是直聯(lián)式油旋片真空泵，由模擬量輸入輸出，量程為0-2000m可在量程范圍內(nèi)無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)、針閩等 控制工藝氣體流量。 
♦根據(jù)特殊的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設(shè)備，油過(guò)濾器，過(guò)德返油裝置等。
♦電極結(jié)構(gòu)(專利)的高等離子通量設(shè)計(jì) 能很好地提高等離子體的均勻性及穩(wěn)定性。
 

工業(yè)真空等離子清洗機(jī)常見(jiàn)應(yīng)用：


1、將PDMS腔室和玻璃基底同時(shí)放入等離子清洗機(jī)中改性，結(jié)束后快速將兩者鍵合。
2、電路封裝過(guò)程中焊接產(chǎn)生的助焊劑等殘留物以及導(dǎo)電膠粘接膠液揮發(fā)積聚的薄膜有機(jī)物質(zhì)嚴(yán)重影響鍵合界面的清潔，不加以處理而直接鍵合，將造成虛焊、脫焊等問(wèn)題。等離子清洗是常用的清洗方式。
3、等離子體清洗Ti/Mo襯底表面，以去除襯底表面的自然氧化層。
4、利用等離子除膠可以達(dá)到常規(guī)清洗無(wú)法達(dá)到的效果,可應(yīng)用在PCB制造過(guò)程中。
5、ITO表面進(jìn)行等離子清洗可以除去表面有機(jī)雜質(zhì)，更重要的是清洗后不僅可以優(yōu)化ITO的功函數(shù)和導(dǎo)電率，還能夠增加其與修飾層界面接觸，從而有利于電荷的傳輸。
 
型號(hào) 真空等離子清洗機(jī)NE-PE80F
等離子體發(fā)生器頻率 13.56MHz
射頻電源功率 （0～600）W 可調(diào)
工作真空度 30～150Pa
反應(yīng)倉(cāng)工作溫度 30~60℃
氣體流量 (0～200)ml/min
控制方式 采用觸摸屏人機(jī)界面的PLC控制
腔體材質(zhì) 不銹鋼/鋁合金
輸入電壓 380×(1±10%)V(AC) 50Hz～60Hz 三相五線
氣體通道 標(biāo)準(zhǔn)兩路，可增加，可通入氧氣氬氣氮?dú)獾?/span>
設(shè)備功率 ≤4kW
外形尺寸 L1200×W1100×H1850（mm）
反應(yīng)倉(cāng)尺寸 W450mm×H400mm×D470mm
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